F. Murillo, J. Herrera, S. Zazueta.
RESUMEN:
El presente documento detalla el diseño de un sistema de adquisición de espectros de intensidad óptica basado en un espectrómetro integrado con resolución de 15nm.
También se presenta su implementación en la inspección de filtros y fuentes en el OAN-SPM.
También se presenta su implementación en la inspección de filtros y fuentes en el OAN-SPM.
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